半导体产业另一大氦气用户是半导体行业，其消耗量约占全球氦气的25%，美国氦气的10%。与MRI设备类似，氦气用于冷却超导磁体以提高直拉法生长的硅锭纯度。氦气在某些生产工艺中也用作冷却剂，以及作为惰性气体吹扫容器、检漏等多种用途。半导体行业协会2023年报告指出，氦气被用作“载气，以高速精准方式进行能量与热传递，参与反应调节，用于背面冷却和负载锁定冷却、光刻工艺、真空室环境及清洁工序”。该报告同时强调，对多数用途而言氦气无可替代。
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